压痕检查装置及其方法

摘要

本发明涉及一种压痕检查装置及其方法。更具体地说，本发明涉及一种压痕检查装置及其方法，用于快速而精确地选择用于压痕检查的检查区域，以及用于快速而精确地确定是否有正常压痕。为此，依据本发明的压痕检查装置包括：工作台，用于固定其上存在压痕的基板；显微镜，位于所述工作台上方，用于观察所述基板的下侧；照相机，与所述显微镜相连，用于获得通过所述显微镜观察的所述基板的下侧的图像数据；检查区域选择部分，用于从所述照相机接收所获得的图像数据，以从所获得的图像数据中选择用于压痕检查的压痕检查区域；和压痕检测部分，用于检测所述检查区域内具有预定形状的边界的各检测区域中每一个检测区域中的亮度分布信息，以根据所检测的亮度分布信息检测压痕指数。

主权项

一种压痕检查装置，包括：工作台，用于固定一基板，在该基板上存在压痕；显微镜，位于所述工作台的上方，用于观察所述基板的下侧；照相机，与所述显微镜相连，用于获得通过所述显微镜观察的所述基板的下侧的图像数据；检查区域选择部分，用于从所述照相机接收所获得的图像数据，从该所获得的图像数据中选择需要用来检查压痕的检查区域；所述检查区域选择部分包括：主数据存储部分，用于存储与基板模式一致的主数据；标记数据存储部分，用于从所获得的图像数据中选择一个部分，以将所选择的部分作为一个标记存储；偏移值存储部分，用于利用包括该标记和与该检查区域对应的模式信息的主数据存储一偏移值，该偏移值是所获得的图像数据的标记与所获得的图像数据的检查区域之间的偏移值；和匹配部分，用于基于该图像数据的标记把检查区域匹配至由该偏移值校正的位置；以及压痕检测部分，用于检测所述检查区域内具有预定形状的边界的各检测区域中每一个检测区域中的亮度分布信息，以根据所检测的亮度分布信息检测压痕指数；所述压痕检测部分包括：图像数据分析部分，用于分析该检查区域的亮度分布；中心点检测部分，用于根据所分析的图像数据来检测检测区域的中心点；面积信息存储部分，用于存储以所述中心点为中心并有预定形状的边界和面积信息；高度检测部分，用于利用所分析的亮度信息来检测具有该面积的边界内的压痕高度；和压痕指数计算部分，用于利用该面积和该高度计算压痕指数，其中所述压痕指数由(0.7×高度)+(0.3×面积)计算得到。