确定关于行进粒子的设计结构的停止功率的方法

摘要

本发明提供一种确定关于行进粒子的设计结构的停止功率的方法。此方法包含：(i)提供设计结构的设计信息，其包含具有N个互连层的后端线路层，其中N为正整数；(ii)将N个互连层中的每一互连层划分为多个像素；(iii)确定行进粒子在N个互连层的第一互连层中的第一路径；(iv)识别在行进粒子的第一路径上的第一互连层的多个像素中的M个路径像素，其中M为正整数；以及(v)确定由于行进粒子完全地通过M个路径像素中的第一像素而由行进粒子所损耗的第一损耗能量。

主权项

一种用以确定关于行进粒子的集成电路设计结构的停止功率的方法，其中所述停止功率是指由于行进粒子完全地通过后端线路层而损耗的能量，该方法包括：提供该设计结构的设计信息，其包括具有N个互连层的该集成电路的后端线路层，其中N为大于1的整数；将该N个互连层中的每一互连层划分为多个像素，使得该后端线路层的该多个像素形成三维像素阵列；确定该行进粒子在该N个互连层的第一互连层中的第一路径；识别在该行进粒子行进在该第一互连层中的该第一路径上的该多个像素中的M个路径像素，其中M为正整数；确定由于该行进粒子完全地通过该M个路径像素的第一像素而由该行进粒子所损耗的第一损耗能量；比较该第一损耗能量及第一开始能量，该第一开始能量为该行进粒子进入该M个路径像素的该第一像素时该行进粒子的能量；以及如果该第一损耗能量大于该第一开始能量，则确定该行进粒子由该M个路径像素的该第一像素所吸收。