一种三氯氢硅反应炉

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅反应炉，包括中间壳体、上封头和下封头，所述上封头和下封头分别通过法兰与中间壳体的顶部和底部固定连接形成炉体，所述中间壳体包括上部扩大段和下部反应段；所述上部扩大段的顶部设置有金属过滤器；所述下部反应段的长径比为12:1。本实用新型采用中间壳体包括上部扩大段和下部反应段；反应段大大加长，三氯氢硅合成炉炉体较长，扩大段较长，三氯氢硅合成尾气带出的硅粉少，系统不易堵塞，并且使用寿命较长，硅粉消耗降到250KG以下；单台设备日生产能力在13—15吨之间，正常产量在13吨以上。

主权项

一种三氯氢硅反应炉，包括中间壳体（1）、上封头（2）和下封头（3），所述上封头（2）和下封头（3）分别通过法兰与中间壳体（1）的顶部和底部固定连接形成炉体，其特征在于：所述中间壳体（1）包括上部扩大段（4）和下部反应段（5）；所述上部扩大段（4）的顶部设置有金属过滤器（6）；所述下部反应段（5）的长径比为12:1。