发明名称 Inline-Charakteriserung
摘要 Es wird eine Vorrichtung bereitgestellt, die eine wärmeisolierte zu prüfende Einheit enthält, an die nacheinander eine erste bzw. zweite Spannung angelegt wird, ein lokales Heizelement, um die zu prüfende Einheit auf eine erste bzw. zweite Temperatur im Wesentlichen gleichzeitig zu erwärmen, währendegt wird, und eine Temperaturmesseinheit zum Messen der Temperatur der zu prüfenden Einheit.
申请公布号 DE112010003726(T5) 申请公布日期 2012.08.23
申请号 DE201011003726T 申请日期 2010.09.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 WANG, PING-CHUAN;TING, TSO-HUI;YOUNUS, MOHAMMAD I.
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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