发明名称 一种化腐机电控系统
摘要 本发明涉及化腐机电控系统,其特征在于,PLC的四个模拟量输入端分别连接液面传感器X01、液面传感器X02、液面传感器X03和一个出水流量计X00,由PLC的两个输出端继电器分别控制进水阀门Y60和出水阀门Y61;通过设置多个液面传感器测量纯水暂存箱的水量数据,并改进PLC程序和工艺流程,增加纯水暂存箱的存水量,使充水过程不再占用有效工作时间,化腐机不再有等待上水状态,化腐机可连续、不间断地进行化腐和水洗流程,最大限度的减少上水时间,提高设备的生产效率,降低化腐片单片的水耗及电耗。
申请公布号 CN102194666B 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN201110084591.1 申请日期 2011.04.06
申请人 天津市环欧半导体材料技术有限公司 发明人 靳立辉;张雪囡;康冬辉;李翔
分类号 H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人 莫琪
主权项 一种化学腐蚀机电系统,包括PLC和液面传感器,其特征在于,PLC的四个数字量输入端分别连接液面传感器X01、液面传感器X02、液面传感器X03和一个出水流量计X00,由PLC的两个输出端继电器分别控制进水阀门Y60和出水阀门Y61;纯水暂存箱(1)外壁设有连通纯水暂存箱(1)内的水管(2),液面传感器X03、液面传感器X02和液面传感器X01由上至下依次安装在水管(2)上,进水阀门Y60安装在纯水暂存箱(1)的进水管(3)上,出水流量计X00和出水阀门Y61安装在纯水暂存箱(1)的出水管(4)上;液面传感器X01用于测量150升水量对应的下限液面;液面传感器X02用于测量400升水量对应的上限液面;液面传感器X03用于测量450升水量对应的超限报警液面;根据液面传感器X02采样数据,PLC判断纯水暂存箱(1)内是否存有400升水,由PLC输出端继电器控制进水阀门开关,若纯水暂存箱(1)内不足400升水,进水阀门Y60打开;若纯水暂存箱(1)内装满400升水,则进水阀门Y60关闭;根据液面传感器X03采样数据,PLC判断纯水暂存箱(1)内液面是否超限,如果出现液面传感器X02损坏失效的情况,液面达到400升处,仍没有关闭进水阀Y60,当液面继续上升到450升处时,液面传感器X03通知PLC紧急关闭水阀门Y60,并发出报警信息;根据液面传感器X01采样数据,PLC判断纯水暂存箱(1)内是否存有150升水, 若有150升水,则输出指令,允许化学腐蚀机进行化学腐蚀流程;若没有150升水,则继续等待进水至150升水后再输出允许化学腐蚀机进行化学腐蚀流程的指令;根据出水流量计X00的流量信号,PLC判断出水阀门Y61的出水量,若出水达到150升水时,则出水阀门Y61关闭。
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