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发明名称 Electron microscope for inspecting and processing of an object with miniaturized structures and method thereof
摘要
申请公布号 EP1903596(B1) 申请公布日期 2012.06.27
申请号 EP20070018076 申请日期 2007.09.14
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 BIHR, JOHANNES;PANTELEIT, FRIEDHELM, DR.;CLAUSS, TOBIAS;BUDACH, MICHAEL
分类号 H01J37/317;G03F1/00;H01J37/244;H01J37/28;H01J37/301;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/768 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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