一种互连线平均失效时间计算方法及系统

摘要

本发明实施例公开了一种互连线平均失效时间计算方法及系统。所述方法包括：确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；获取经过所述目标互连线的电流数据；以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积，得到所述目标互连线的实际电流密度；将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数，获得所述目标互连线的平均失效时间。本方案中，充分考虑了CMP处理后所产生的损失区域带来的误差影响，在计算互连线的MTTF时，所确定的电流密度为通过目标互连线实际区域的电流密度，进而进行后续MTTF计算，因此，可以有效计算CMP处理后互连线的MTTF。

主权项

一种互连线平均失效时间计算方法，其特征在于，包括：确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积，所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域；获取经过所述目标互连线的电流数据；以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积，得到所述目标互连线的实际电流密度；将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数，获得所述目标互连线的平均失效时间。