| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Steuerschaltung (300) für ein mikro-elektromechanisches Element (30) mit einem Signalformgenerator (2), der dazu ausgelegt ist, ein digitales Ansteuersignal für das mikro-elektromechanische Element (30) zu generieren, einem Modulator (3), der dazu ausgelegt ist, das digitale Ansteuersignal überabzutasten, einer Rauschformung zu unterwerfen und ein überabgetastetes und rauschgeformtes digitales Ansteuersignal auszugeben, und einer digitalen Treibereinrichtung (4), die dazu ausgelegt ist, das mikro-elektromechanische Element (30) mit dem überabgetasteten und rauschgeformten digitalen Ansteuersignal zu treiben. |
