密封装置的基板交接机构及密封装置的基板交接方法

摘要

本发明提供一种能够缩短在密封装置中基板交接所需的时间的密封装置的基板交接机构及密封装置的基板交接方法。本发明的密封装置(100)的基板交接机构，所述密封装置使基板(102)向模具(114)移动且对基板进行树脂密封，该装置具备：输送机构(116)，使基板移动；及基板接收台(160)，从输送机构交接基板，其中，输送机构具备支承基板的基板支承体(132)，基板接收台具备由自身的内周侧端部的相对置的2边和与该2边正交的1边支承基板的框体，基板仅在基板被树脂密封的区域，即被密封区域的外侧由基板支承体及框体支承，基板支承体能够以非接触状态穿通框体的内侧。

主权项

一种密封装置的基板交接机构，所述密封装置使基板向模具移动且对该基板进行树脂密封，该密封装置的基板交接机构具备使该基板移动的输送机构及从该输送机构交接该基板的基板接收台，其特征在于，所述输送机构具备支承所述基板的基板支承体，所述基板接收台具备至少由自身的内周侧端部的相对置的2边支承该基板的框体，该基板仅在该基板被树脂密封的区域即被密封区域的外侧由该基板支承体及该框体支承，该基板支承体能够以非接触状态穿通该框体的内侧。