摘要 |
Устройство для охлаждения и очистки газообразного гелия, содержащее два криостата, расположенный в жидком азоте теплообменник, датчик уровня жидкого азота для улавливания вымороженных частиц вредных примесей и трехполостной теплообменник, размещенный в среде газообразного азота, теплообменник охлажденного гелия, помещенный в жидкий азот, фильтр для улавливания вымороженных вредных примесей и электронагреватель азота для регенерации насыщенного фильтра, отличающееся тем, что устройство снабжено двумя блоками, параллельно установленными после фильтра криостата, каждый из которых содержит последовательно расположенные электропневмоклапан и обратный клапан, при этом один блок соединен с двухполостным теплообменником криостата, а другой - с трубопроводом выдачи гелия потребителю после дополнительного обратного клапана, установленного после электронагревателя гелия. |