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发明名称
处理装置
摘要
一种处理置包含:一处理单元,架构以处理一物件;及一控制器,架构以送出一信号,用以要求一外部装置,以在该该处理装置进入该外部装置可以执行传输的一状态之前,执行该物件的传输进出该处理装置。
申请公布号
TWI361470
申请公布日期
2012.04.01
申请号
TW096134913
申请日期
2007.09.19
申请人
佳能股份有限公司 日本
发明人
平野真一
分类号
H01L21/677
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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