发明名称 处理装置
摘要 一种处理置包含:一处理单元,架构以处理一物件;及一控制器,架构以送出一信号,用以要求一外部装置,以在该该处理装置进入该外部装置可以执行传输的一状态之前,执行该物件的传输进出该处理装置。
申请公布号 TWI361470 申请公布日期 2012.04.01
申请号 TW096134913 申请日期 2007.09.19
申请人 佳能股份有限公司 日本 发明人 平野真一
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本