发明名称 集成电路装片机顶针模块
摘要 本发明提供的集成电路装片机顶针模块,包含顶针、顶针夹具、套管、凸轮、步进电机、气管、气泵、程控部件等。顶针夹具外有套管;顶针夹具的一段夹持数枚顶针,顶针呈对称分布,顶针夹具的夹持瓣间隙可以调整,顶针夹具的另一端与凸轮接触,凸轮安装在凸轮轴上,凸轮轴由步进电机驱动。气泵联通吸气管,吸气管联通套管,空气能够在套管内部的间隙通过。步进电机和气泵分别由控制线连接到程控部件。工作时,气泵抽吸空气,装载芯片的蓝膜吸附在套管端面,顶针顶起芯片。本发明能够按需自控顶起粘在蓝膜上的集成电路芯片,定位准确、效率高、安全性高,适用于多种规格的芯片装片使用。
申请公布号 CN102376613A 申请公布日期 2012.03.14
申请号 CN201010257929.4 申请日期 2010.08.20
申请人 吴华 发明人 刘建峰;徐银森;李承峰;胡汉球;苏建国;吴华
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种集成电路装片机顶针模块,包含顶针(2)、顶针夹具(6)、套管(5),其特征在于:还包含凸轮(7)、凸轮轴、同步带(8)、步进电机(9)、气泵(11)、吸气管(12)、程控部件(10);顶针夹具(6)外有套管(5);顶针夹具(6)的一段夹持数枚顶针(2),数枚顶针(2)呈三路射线分布,射线的夹角为120°,或者数枚顶针(2)呈成十字型对称分布;顶针夹具(6)具有三个或者四个弹性夹持瓣(4),顶针夹具(6)的夹持瓣间隙(1)能够调整;顶针夹具(6)另一端与凸轮(7)接触,凸轮(7)安装在凸轮轴上,凸轮轴由步进电机(9)驱动;气泵(11)联通吸气管(12),吸气管(12)联通套管(5),空气能够在套管(5)内部的间隙通过;步进电机(9)和气泵(11)分别由控制线连接到程控部件(10),程控部件(10)具有分别控制步进电机驱动(9)和气泵(11)抽吸的程控软件和相应的硬件;工作时,气泵(11)抽吸空气,装载芯片的蓝膜吸附在套管的端面(3),顶针(2)顶起芯片。
地址 226000 江苏省南通市崇川路27号4栋1楼