藉由嵌段共聚物自组装形成的二维阵列之具有次微影直径的孔洞

摘要

本发明提供利用自组装嵌段共聚物制造二维方形及矩形阵列之次微影奈米级微结构的方法以及自此等方法形成的膜和装置。