一种气浮平台

摘要

本实用新型属于光机电技术领域，具体公开了一种气浮平台，其包括多个气浮模块，每个所述气浮模块包括：内部设置为中空的腔体，所述腔体上部具有气浮平板，所述气浮平板上具有气浮块。本实用新型的关键点在于采用多孔材料模块化设计形成气浮平台，根据不同用途设计出不同精度等级的模块或采用不同材质的气浮块，用于提供稳定的空气，减少空气的消耗量，抑制上浮空气。该气浮平台加工、装配简单，制造成本较低，操作简单方便，实现了非接触传输，减轻了大尺寸玻璃基板的变形和应力，提高了生产效率。

主权项

一种气浮平台，其特征在于，包括多个气浮模块，每个所述气浮模块包括：内部设置为中空的腔体(3)，所述腔体(3)上部具有气浮平板(1)，所述气浮平板(1)上具有气浮块(2)。