曝光用照明装置

摘要

1.外观设计产品的名称：曝光用照明装置；2.外观设计产品的用途：该曝光用照明装置用于曝光，例如，在半导体制造过程中的光致抗蚀膜的曝光工程中使用；3.设计要点：如立体图、主视图、省略内部结构的A-A剖视图和省略了内部结构的C-C剖视图所示的形状；4.最能表现设计要点的图：主视图；5.使用状态参考图中的斜线部分具有透光性。