在硅和硅合金中使用互补结型场效应晶体管和MOS晶体管的集成电路

摘要

本发明描述了一种在硅中使用结型场效应晶体管构造互补逻辑电路的方法。本发明理想地适用于深亚微米尺寸，尤其适于65nm以下。本发明的基础是在增强模式下工作的互补结型场效应晶体管。JFET的速度-功率性能在亚70纳米尺寸下变得能够与CMOS器件相比。然而，JFET的最大电源电压仍然限制在内建电势(二极管压降)以下。为了满足某些要求对外部电路的接口驱动至更高电压电平的应用，本发明还包括用于在与JFET器件相同的衬底上构造CMOS器件的结构和方法。

主权项

一种结型场效应晶体管，包括：半导体衬底；具有第一传导类型的第一杂质区，形成在所述衬底内；具有第一传导类型的第二杂质区，形成在所述衬底内并与所述第一杂质区分隔开；具有第一传导类型的沟道区，位于所述第一和第二杂质区之间，其中所述沟道区具有小于100nm的最大长度；具有第二传导类型的栅极电极区，所述栅极电极区形成在所述半导体衬底的顶面上；具有第二传导类型的栅极区，所述栅极区形成在所述衬底内，其中所述沟道区具有与所述栅极电极区的侧壁以及所述栅极区的侧壁对准的侧壁。