改善晶棒品质之热遮罩及具有改善晶棒品质之热遮罩的长晶炉

主权项

一种改善晶棒品质之热遮罩，其包含一结合部、一延展部以及一气流调节部，结合部、延展部以及气流调节部贯穿形成有一开口；该结合部，该结合部之底端于该开口之周缘处结合有该延展部，该延展部系朝向该结合部的内侧突伸，该延展部之外径朝向远离该结合部方向渐减，于该延展部末端结合有该气流调节部，该气流调节部之外径朝向远离该延展部方向渐增。