| 摘要 |
Winkelgeschwindigkeitssensor mit: einem Substrat (4); einer Mehrzahl von beweglichen Teilen (10, 11, 12, 13), welche beweglich auf dem Substrat getragen werden, symmetrisch um einen vorbestimmten Punkt (K) angeordnet und in Umfangsrichtung um den vorbestimmten Punkt beweglich sind; und einem Erfassungsteil (30–33), welches den beweglichen Teilen zur Erfassung einer Verschiebung der beweglichen Teile in Radialrichtung zum vorbestimmten Punkt (K) gegenübersteht; dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der beweglichen Teile (10, 11, 12, 13) ein Vielfaches von vier beträgt, jeweils zwei bewegliche Teile (10, 12; 11, 13), welche symmetrisch um den vorbestimmten Punkt (K) angeordnet sind, derart konfiguriert sind, dass sie in derselben Phase oszillieren, und die beweglichen Teile (10, 12) einer Hälfte derart konfiguriert sind, dass sie in einer Phase umgekehrt zu der Phase der beweglichen Teile (11, 13) der anderen Hälfte oszillieren.
|
