发明名称 用于服从双图案化的标准单元设计的方法
摘要 半导体芯片包括一行单元,其中,每个单元包括VDD线和VSS线。单元的所有VDD线连接为单条VDD线,单元的所有VSS线连接为单条VSS线。该行单元中没有具有偶数条G0路径的双图案化完整迹线,或者该行单元中没有具有奇数条G0路径的双图案化完整迹线。此外,还公开了一种用于服从双图案化的标准单元设计的方法。
申请公布号 CN102148214A 申请公布日期 2011.08.10
申请号 CN201010199294.7 申请日期 2010.06.09
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈皇宇;侯元德;李芳松;杨稳儒;张广兴;郑仪侃;田丽钧;鲁立忠
分类号 H01L23/50(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I 主分类号 H01L23/50(2006.01)I
代理机构 北京市德恒律师事务所 11306 代理人 孙征;陆鑫
主权项 一种半导体芯片,包括:一行单元,其中每个单元均包括VDD线和VSS线,其中,所述单元的所有的VDD线连接为单条VDD线,所述单元的所有VSS线连接为单条VSS线,并且其中,在所述一行单元中不存在具有偶数条G0路径的双图案化完整迹线,或者在所述一行单元中不存在具有奇数条G0路径的双图案化完整迹线。
地址 中国台湾新竹