| 摘要 |
<p>【課題】特定方向の光の明暗を調節し、被検査物の検査目標をよりはっきりと際立たせ、被検査物上に汚れがあるか、瑕疵があるかの判断を容易にする調光可能な線形照明装置を提供すること。【解決手段】検査設備中に設置され、イメージセンサ２２で被検査物１のイメージをキャプチャできるように、被検査物１に対して光を照射するのに用いられ、円弧形のアーチ型を呈して被検査物１の上方に配置され、被検査物１に対して光線を投射する複数の線形光源３１と、各線形光源３１の輝度を調整する調光制御器３２とを備える。【選択図】図１</p> |
