减振装置及应用其的光刻装置

摘要

本发明提出一种减振装置，承载有一负载。减振装置包括基座、壳体、活塞、第一气室、活塞和摆机构。壳体用于支撑所述的负载；第一气室刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞通过第一气室内的流体所支撑；摆机构安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。本发明中的减振装置采用双腔室空气弹簧用于隔离垂向的振动，在空气弹簧活塞与负载之间设置了细长的柔性摆杆，在负载与基座之间安装了直线电机用于振动的主动补偿。与原有技术相比，空气弹簧的容积更大，摆机构更长，从而减振装置刚度可降得更低，并且本发明的减振装置结构紧凑，设计简单。

主权项

一种减振装置，承载有一负载，其特征在于，包括：基座；壳体，用于支撑所述的负载；第一气室，刚性连接在基座上，内部充满流体；活塞，通过第一气室内的流体所支撑；摆机构，安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。