宽光谱微光器件阴极有效直径测试装置及方法

摘要

本发明公开了一种宽光谱微光器件阴极有效直径测试装置及方法，包括像增强器、宽光谱LED阵列、毛玻璃、显微镜、多维调节台和底座，毛玻璃位于像增强器和宽光谱LED阵列之间，第一X方向调节台位于第一Y方向调节台之上，第二X方向调节台位于第二Y方向调节台之上，构成多维调节台；显微镜位于多维调节台之上，像增强器夹持在夹具上，显微镜正对像增强器的荧光屏，位于另一个多维调节台之上；利用显微镜对光电阴极点亮区域进行二维扫描，通过多维调节台的螺旋测微器刻度结构实现阴极有效直径的测试。本发明主要应用于紫外、红外和可见光像增强器的阴极有效直径测试，结构简约，功能实用，便于操作，测试速度较快，效果良好。

主权项

一种宽光谱微光器件阴极有效直径测试装置，其特征在于：包括像增强器[7]、宽光谱LED阵列[9]、毛玻璃[8]、显微镜[5]、多维调节台和底座[1]；毛玻璃[8]位于像增强器[7]和宽光谱LED阵列[9]之间，以使宽光谱LED阵列[9]发出的光辐射经过毛玻璃[8]后，均匀地照射在像增强器[7]上，物镜[6]和目镜[3]直接通过镜筒相连构成显微镜[5]，物镜[6]、目镜[3]均有十字分划线结构；第一X方向调节台[4]位于第一Y方向调节台[2]之上，第二X方向调节台[11]位于第二Y方向调节台[10]之上，构成多维调节台；显微镜[5]位于多维调节台之上，像增强器[7]夹持在夹具上，显微镜[5]正对像增强器[7]的荧光屏，像增强器[7]夹具、宽光谱LED阵列[9]、毛玻璃[8]位于另一个多维调节台之上；多维调节台、显微镜[5]、像增强器[7]、毛玻璃[8]、宽光谱LED阵列[9]均固定在底座[1]上封装成一个整体；利用显微镜[5]对光电阴极点亮区域进行二维扫描，通过多维调节台的螺旋测微器刻度结构实现阴极有效直径的测试。