发明名称 光刻胶组合物
摘要 本发明提供一种光刻胶组合物,所述组合物包含树脂,所述树脂包含由具有酸敏基团的化合物得到的结构单元和由式(a)所代表的化合物得到的结构单元:其中R<sup>1</sup>代表氢原子、卤素原子、C1-C6烷基或C1-C6卤代烷基,k代表1-6的整数,W<sup>1</sup>代表C6-C18二价芳族烃基,其可具有一个或更多个选自卤素原子、羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C6-C14芳基、C7-C15芳烷基、缩水甘油氧基和C2-C4酰基的取代基,R<sup>2</sup>代表氢原子、式(R<sup>2</sup>-1)所代表的基团或式(R<sup>2</sup>-2)所代表的基团,其中R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>和R<sup>5</sup>各自独立地代表C1-C12烃基且R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>可彼此键合形成环,R<sup>6</sup>和R<sup>7</sup>各自独立地代表氢原子或C1-C12烃基,R<sup>8</sup>代表C1-C12烃基,且所述树脂不溶于或难溶于碱性水溶液但在酸的作用下变为可溶于碱性水溶液。<img file="201010250473.9_ab_0.GIF" wi="295" he="218" />
申请公布号 CN101995770A 申请公布日期 2011.03.30
申请号 CN201010250473.9 申请日期 2010.08.06
申请人 住友化学株式会社 发明人 嶋田雅彦;市川幸司
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 顾晋伟;王春伟
主权项 1.一种光刻胶组合物,所述组合物包含树脂,所述树脂包含由具有酸敏基团的化合物得到的结构单元和由式(a)所代表的化合物得到的结构单元:<img file="FSA00000226054200011.GIF" wi="933" he="234" />其中R<sup>1</sup>代表氢原子、卤素原子、C1-C6烷基或C1-C6卤代烷基,k代表1-6的整数,W<sup>1</sup>代表C6-C18二价芳族烃基,其可具有一个或更多个选自卤素原子、羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C6-C14芳基、C7-C15芳烷基、缩水甘油氧基和C2-C4酰基的取代基,R<sup>2</sup>代表氢原子、式(R<sup>2</sup>-1)所代表的基团或式(R<sup>2</sup>-2)所代表的基团,<img file="FSA00000226054200012.GIF" wi="1057" he="432" />其中R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>和R<sup>5</sup>各自独立地代表C1-C12烃基且R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>可彼此键合形成环,R<sup>6</sup>和R<sup>7</sup>各自独立地代表氢原子或C1-C12烃基,R<sup>8</sup>代表C1-C12烃基,且所述树脂不溶于或难溶于碱性水溶液,但在酸的作用下变为可溶于碱性水溶液。
地址 日本东京都