| 主权项 |
一种超音波辅助化学机械抛光机构，包含：一本体；一支架，与该本体相枢接；一回转装置，位于该本体上，用以带动该支架相对于该本体转动；一超音波产生器，位于该支架内；一超音波换能器，与该超音波产生器相连，用以将该超音波产生器所产生之超音波转换为一机械振动；以及一研磨治具，装载于该支架上。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，其中该超音波产生器所产生之超音波方向为纵向。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，其中该超音波换能器为一压电振动子。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，其中该超音波换能器为一磁致伸缩式振动子。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，更包含：一放大器，一端与该超音波换能器相连，另一端与该研磨治具相接触，该放大器用以放大该超音波换能器之机械振动的振幅。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，更包含：一砝码，加载于该支架上；以及一套筒，设置于该支架上，用以固定该砝码于该支架上。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，更包含：一纵向螺杆，与该本体相连；以及一手摇柄，与该纵向螺杆相连，用以使该本体沿该纵向螺杆进行纵向位移。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，更包含：一横向螺杆，与该本体相连；以及一马达，与该横向螺杆相连，用以使该本体沿该横向螺杆进行横向位移。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，更包含：一工作平台，用以放置一工作件，该工作平台可相对于该支架转动，使该研磨治具对该工作件进行研磨。如请求项1所述之超音波辅助化学机械抛光机构，其中该研磨治具为一钻石修整器。 |
