一种三梁结构电磁激励/电磁拾振微桥谐振器

摘要

本实用新型公开了一种三梁结构的新型电磁激励/电磁拾振微桥谐振器。微桥谐振器由两根激振梁和位于其间的一根拾振梁组成，激振梁和拾振梁通过多根短梁连接。采用永磁体给微桥谐振器提供一个平行于芯片表面并与微桥谐振器垂直的磁场。在两根激振梁上的金属导线中通过方向相同的交变电流，使得激振梁在垂直于芯片表面的方向产生横向振动，并通过短梁带动中间的拾振梁产生横向振动。当激振梁上金属导线中通过的交变电流的频率与微桥谐振器的固有频率相同时，微桥谐振器达到谐振状态，拾振梁上的金属导线两端的感生电动势的幅值也达到最大。该谐振器的优点在于拾振梁两侧的激振梁通过短梁带动拾振梁在垂直于芯片表面横向振动、结构简单、易于起振和制作。

主权项

一种三梁结构的新型电磁激励/电磁拾振微桥谐振器，其特征在于：微桥谐振器由两根激振梁(1)、一根拾振梁(2)、金属导线(3)、(4)、(5)、短梁(6)、衬底(7)组成，其中所述的拾振梁(2)位于两根激振梁(1)之间，并且平行于激振梁(1)；激振梁(1)和拾振梁(2)之间通过垂直于激振梁(1)和拾振梁(2)的多根短梁(6)连接；金属导线(3)、(4)分别位于两根激振梁(1)上，金属导线(5)位于拾振梁(2)上。