| 发明名称 | 大型光罩保护膜收纳容器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种大型光罩保护膜用收纳容器，其由收纳光罩保护膜的托盘和覆盖托盘的盖构成，所述光罩保护膜的面积为1000cm2以上，该盖和/或托盘构成为包含具有蜂窝结构的材料。 | ||
| 申请公布号 | CN101111802B | 申请公布日期 | 2011.02.02 |
| 申请号 | CN200580047404.5 | 申请日期 | 2005.01.27 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 栗山芳真;脇元一郎;船渡彰 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01)I;B65D85/86(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 一种大型光罩保护膜用收纳容器，其由收纳光罩保护膜的托盘和覆盖托盘的盖构成，所述光罩保护膜的面积为1000cm2以上，该盖和/或托盘构成为包含具有蜂窝结构的板状材料。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||