| 摘要 |
본 발명은, 보다 클린한 상태에서 기판을 반송 가능한, 기판을 냉각하기 위한 기판 처리 장치 및 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치로서의 기판 냉각 장치는, 챔버; 냉각을 행하는 냉각부; 챔버 내에서 기판을 재치하기 위한 기판 재치면을 가지고 있는 동시에, 냉각부에 의해 냉각되는 기판 홀더; 및 챔버 내에서 기판 재치면의 옆쪽을 둘러싸는 측벽부를 갖고 있는 동시에, 냉각부에 의해 냉각되는 실드를 포하한다. 또한, 실드의 내측의 면의 근방에는, 실드 히터가 설치되어 있다. |
