| 发明名称 |
COAXIAL MICROWAVE ASSISTED DEPOSITION AND ETCH SYSTEMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110004388(A) |
申请公布日期 |
2011.01.13 |
| 申请号 |
KR20107023133 |
申请日期 |
2009.02.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
STOWELL MICHAEL W.;KRISHNA NETY;HOFMANN RALF;GRIFFITH JOE |
| 分类号 |
C23C14/22;C23F4/04;H01L21/3065 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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