| 发明名称 | 静电吸附电极、基板处理装置和静电吸附电极的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抑制绝缘层发生裂纹的静电吸附电极。在静电吸盘(40b)中，将由具有与基材(41)的线膨胀系数之差的绝对值在14×10-6[/℃]以下的线膨胀系数的陶瓷喷涂膜形成的第1绝缘层(42b)插入在基材(41)和氧化铝喷涂膜的第2绝缘层(44b)之间。因为第1绝缘层(42b)作为缓冲层发挥作用，从而改善了静电吸盘(40b)的耐热性，能够抑制裂纹的发生。 | ||
| 申请公布号 | CN101188207B | 申请公布日期 | 2011.01.12 |
| 申请号 | CN200710140390.2 | 申请日期 | 2007.08.10 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 佐佐木芳彦;南雅人 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种静电吸附电极，其为具备在基板处理装置中通过静电力将基板吸附并保持的基板保持面的静电吸附电极，其特征在于，具有：基材；设置在该基材上的绝缘层；设置在所述绝缘层中的电极，其中，所述绝缘层的一部分或全部是由具有与所述基材的线膨胀系数之差的绝对值在14×10‑6[/℃]以下的线膨胀系数的陶瓷喷涂膜形成，所述基板保持面的最长部分的尺寸在450mm以上。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||