用于固态材料的真空蒸发设备

摘要

本发明涉及一种用于蒸发固态材料(例如硒)的设备，其中固态材料用于给衬底镀膜。固态材料通过馈送源进入第一坩埚。在该坩埚中，材料在优选地略微大于其熔点的温度下熔化。熔化的材料经由输送装置(例如为管道)流动到第二坩埚中，材料在第二坩埚中以大于其沸点的温度蒸发并且传输到衬底上。为了在非常短的时间(优选为一到两分钟)内停止蒸发，用于在熔点之上冷却材料的冷却装置布置在输送装置中。通过该冷却装置，在输送装置中的材料可以在其熔点之上在非常短的时间内冷却下来。

主权项

1.一种真空蒸发设备(1)，其用于固态材料，所述设备包括用来蒸发至少一种材料的坩埚(50)并且包括用于将至少一种蒸发的材料散布到衬底(2)上的散布系统(39)，所述设备(1)包括在熔点之上冷却所述至少一种材料的至少一个机构(46，52，51)，其特征在于所述装料装置(9)设置在所述设备(1)内，使得可以向所述坩埚(43)提供所述至少一种固态材料。