极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器

摘要

一种极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器，阵列式热电制冷器[4]位于静电卡盘[2]盘面底部，制冷器冷端绝缘导热板[302]与静电卡盘[2]平面盘底部接触；掩模板[1]通过静电吸附力，附着在静电卡盘[2]盘面上部。阵列式热电制冷器[4]由若干块自其中心向外划分的同心方框形热电制冷区域构成，每一制冷区域又分为若干块热电制冷器单元[3]，每个制冷器单元[3]由m行、n列的热电偶对[400]串联构成；热电偶对[400]由一块N型半导体和一块P型半导体通过导电铜板连接而成。同一制冷器单元[3]内的热电偶对[400]串联供电，电流相同，冷端温度相同。本发明在电压、材料、电阻和热端温度等条件确定的前提下，只需控制输入电流，即可控制阵列式热电制冷器单元冷端的温度和制冷量。

主权项

1、一种极紫外光刻掩模台静电卡盘冷却器，包括静电卡盘[2]、掩模板[1]和阵列式结构热电制冷器[4]；阵列式结构热电制冷器[4]位于静电卡盘[2]盘面的底部，制冷器冷端的绝缘导热板[302]与静电卡盘[2]平面盘底部相接触；掩模板[1]通过静电吸附力，附着在静电卡盘[2]盘面上部，其特征在于，阵列式结构热电制冷器[4]由M块自阵列式结构热电制冷器中心向外划分的同心方框形热电制冷区域构成，每一同心方框形热电制冷区域分为k块热电制冷器单元[3]，每个热电制冷器单元[3]由m行、n列的热电偶对[400]串联构成；热电偶对[400]由一块N型半导体和一块P型半导体通过导电铜板连接而成，同一热电制冷器单元[3]内的热电偶对串联供电，电流相同，冷端温度相同；同心方框形热电制冷区域的数目根据掩模板在未冷却前的温度分布来确定；同心方框形热电制冷区域的面积由极紫外光束扫描的面积和图形区的面积来确定；阵列式结构热电制冷器[4]的同心方框形热电制冷区域的冷端温度分布设置为中心区域温度低、边缘区域温度高，冷端温度从中心区向边缘区递增，相邻区域冷端的温差为0.5℃；同一同心方框形热电制冷区域内的热电制冷器单元[3]的冷端温度相同。