影像测量仪及影像测量仪的对焦方法

摘要

一种影像测量仪，其至少包括一Z轴传动系统、一用于承载一被测工件的工作台及一图像撷取装置，该图像撷取装置装设于该Z轴传动系统靠近该工作台的一端，该Z轴传动系统可驱动该图像撷取装置相对于该工作台沿一Z轴运动，该Z轴垂直于该工作台，该Z轴传动系统上还装设有一激光测距模组，该激光测距模组可向该被测工件发射一激光束并在该被测工件上产生一光斑，该影像测量仪可通过该激光测距模组测量该光斑所在位置的Z轴坐标。该激光测距模组的测量速度快，精度高且受工件形状影响小，使本发明的影像测量仪的对焦精度高，并且对焦速度快。

主权项

1.一种影像测量仪，其至少包括一Z轴传动系统、一用于承载一被测工件的工作台及一图像撷取装置，该图像撷取装置装设于该Z轴传动系统靠近该工作台的一端，该Z轴传动系统可驱动该图像撷取装置相对于该工作台沿一坐标系的Z轴运动，该Z轴垂直于该工作台，其特征在于：该Z轴传动系统上还装设有一激光测距模组，该激光测距模组可向该被测工件发射一激光束并在该被测工件上产生一光斑，该影像测量仪可通过该激光测距模组测量该光斑所在位置的Z轴坐标。