发明名称 Verfahren zum Abscheiden einer Schicht aus einer Formgedächtnislegierung
摘要
申请公布号 DE102004020058(B4) 申请公布日期 2009.11.26
申请号 DE200410020058 申请日期 2004.04.20
申请人 SIEMENS AG 发明人 HANSEN, CHRISTIAN;KRUEGER, URSUS;PYRITZ, UWE
分类号 C30B29/52;C23C14/00;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/58;C25D1/04;C25D3/56;C30B7/12;C30B19/12;C30B23/00;C30B23/02 主分类号 C30B29/52
代理机构 代理人
主权项
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