| 发明名称 |
ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR WELLENLÄNGEN- REFERENZIERUNG VON DURCHSTIMMBAREN FABRY-PEROT- INTERFEROMETERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT446498(T) |
申请公布日期 |
2009.11.15 |
| 申请号 |
AT20070015884T |
申请日期 |
2007.08.13 |
| 申请人 |
INFRATEC GMBH |
发明人 |
NEUMANN, NORBERT;EBERMANN, MARTIN |
| 分类号 |
G01J3/26;G01J5/34;G01N21/35;H01L37/02 |
主分类号 |
G01J3/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
