使用单一光源之倾角及位移同步量测之干涉仪装置

摘要

一种使用单一光源之倾角及位移同步量测之干涉仪装置，包含有一干涉仪系统、一角度感测控制系统及一讯号处理系统，该干涉仪系统包含有一光源组、一干涉仪及一位置检测组，该干涉仪系设有一干涉镜组及一移动组，该干涉镜组包含有一固定镜及一含量测镜之倾角调整装置，角度控制系统包含有一分光架、一四象限感测器及一压电放大器，讯号处理系统系接收四象限感测器之信号并计算出控制量后传至各压电致动器，使移动镜进行角度偏摆控制及位移量测而与固定镜间保持平行，藉以提供一可大幅提高检测准确度之使用单一光源之倾角及位移同步量测之干涉仪装置者。