荷电粒子束微影设备及装置制造方法

摘要

本发明揭示一荷电粒子束微影设备，其包含一投影系统，该投影系统投射一荷电粒子束，并以所投射的该荷电粒子束在基板上成像一图案。该投影系统包含被组构来产生磁场的对称磁双合透镜，以及被组构来产生叠置于该磁场上之电场的静电透镜。该静电透镜包括一电极，被组构来在至少该对称磁双合透镜之该瞳平面上施加一电位，以加速进入该对称磁双合透镜的该荷电粒子束。