双面透光的全有机场效应光敏晶体管及其制备方法

摘要

双面透光的全有机场效应光敏晶体管及其制备方法，即在透明衬底上蒸镀导电电极作为栅极，然后将有机介电绝缘材料制备到透明导电栅极上，再将导电源极蒸镀到有机介电绝缘层上，再蒸镀有机功能层，最后蒸镀透明导电漏极完成全有机场效应光敏晶体管器件的制备。该有机场效应光敏晶体管中的介电绝缘层和功能层都是用有机材料，且该光敏晶体管使用垂直结构，所以制作简单，无需光刻等复杂工艺。沟道长度可以作得很薄而可大大提高场效应光敏晶体管器件的“开/关”电流比。该光敏晶体管上下两面都可以吸收光照，利于提高器件性能。

主权项

1. 一种双面透光的全有机场效应光敏晶体管的制备方法，其特征在于，有如下步骤：(a)先清洗透明有机柔性衬底，然后将透明导电电极(2)蒸镀到透明有机柔性衬底(1)上作为场效应光敏晶体管的栅极或源极；(b)将透明有机介电绝缘层材料(3)制备到清洗好的透明导电电极(2)上；(c)将导电电极材料(4)蒸镀到透明有机介电绝缘层(3)上，形成一定厚度的导电层作为源极或栅极；(d)在源极或栅极上蒸镀有机功能薄膜层(5)；(e)将透明导电电极材料(6)蒸镀到有机功能薄膜层(5)上作为漏极，从而完成整个场效应光敏晶体管器件的制备。