摘要 |
本发明系提供,相对于所吸收之能量可有效率发生酸而具有优良显像性,可形成细微图型之光酸发生剂,与具有优良硬化性之阳离子聚合引发剂,以及使用其之光阻组成物与阳离子聚合组成物。其为下述一般式(I):#P 097130071P01.bmp(一般式(I)中,E#sP!1#eP!至E#sP!4#eP!各自独立为下述一般式(II)或下述一般式(III):#P 097130071P02.bmp所示取代基)所示芳香族硫 盐化合物。一般式(I)中又以r与s为0、m与n为0,或n与r为0之物为佳,一般式(I)中更佳为,m与s中任何一方为1之物。 |