发明名称 芳香族硫盐化合物
摘要 本发明系提供,相对于所吸收之能量可有效率发生酸而具有优良显像性,可形成细微图型之光酸发生剂,与具有优良硬化性之阳离子聚合引发剂,以及使用其之光阻组成物与阳离子聚合组成物。其为下述一般式(I):#P 097130071P01.bmp(一般式(I)中,E#sP!1#eP!至E#sP!4#eP!各自独立为下述一般式(II)或下述一般式(III):#P 097130071P02.bmp所示取代基)所示芳香族硫 盐化合物。一般式(I)中又以r与s为0、m与n为0,或n与r为0之物为佳,一般式(I)中更佳为,m与s中任何一方为1之物。
申请公布号 TW200927715 申请公布日期 2009.07.01
申请号 TW097130071 申请日期 2008.08.07
申请人 ADEKA股份有限公司 发明人 中屋敷哲千;木村健太郎
分类号 C07C381/12(2006.01);C07D333/76(2006.01);G03F7/004(2006.01);C08G59/68(2006.01);C09K3/00(2006.01) 主分类号 C07C381/12(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本