聚合物接枝碳黑复合电阻型薄膜气敏元件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种聚合物接枝碳黑复合电阻型薄膜气敏元件及其制作方法。它是以微晶玻璃为基片，其上蒸发、光刻多对叉指金电极，用浸涂机将微晶玻璃叉指金电极浸渍于含有复合气敏材料的溶液中，采用浸涂方法制成气体敏感薄膜，经热处理后，制得聚合物接枝碳黑复合电阻型薄膜气敏元件。其气体敏感薄膜是由苯乙烯和4-乙烯基吡啶共聚物接枝碳黑复合物所组成。该方法制备工艺简单，成本低，尤其适用于批量生产。所制备的气敏元件对甲醇具有测量范围宽，响应灵敏度高，线性度好，回复性好，在室温下检测等特点，可广泛应用于工农业生产过程及大气环境中甲醇气体浓度的室温精确测量与控制。

主权项

1. 一种聚合物接枝碳黑复合电阻型薄膜气敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃基体(1)，在微晶玻璃基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上涂覆有气敏薄膜(3)，气敏薄膜(3)为苯乙烯和4—乙烯基吡啶共聚物接枝的碳黑复合物。