远紫外线光罩及修护远紫外线光罩方法

摘要

一种超紫外线光罩，包括一基材、一反射多层结构、一相位差材料及一光罩材料。反射多层结构系位于基材之上。相位差材料位于反射多层结构之上，且位于基材之至少一第一部份之上。光罩材料位于多层结构之上，且位于基材之多个第二部分之上。光罩材料系对应于超紫外线光罩之多个光罩图样。