太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法

摘要

太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法，涉及一种多晶硅。提供一种成本低、纯度高、工艺简单易行、操作方便和适合于规模化生产的太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法。设有真空系统、熔炼系统和定向凝固系统；真空系统设有机械旋片泵、萝茨泵和油扩散泵，熔炼系统设有真空室、二次加料器、观察窗、可升降的旋转通气装置、感应线圈和石墨坩埚；定向凝固系统设于真空室的下部，定向凝固系统设有电阻丝加热保温炉、石墨模具、保温炉支架、水冷铜盘、可控速的升降杆。通过感应加热熔化金属硅，在低真空高温条件下通入氧化性气体除硼，然后进行高温高真空除磷，最后将熔融硅液浇注入定向模具中进行严格的定向凝固除金属杂质。

主权项

1.太阳能级多晶硅的提纯装置，其特征在于设有真空系统、熔炼系统和定向凝固系统；真空系统设有机械旋片泵、萝茨泵和油扩散泵，机械旋片泵分别与萝茨泵和油扩散泵连接；熔炼系统设有真空室、二次加料器、观察窗、可升降的旋转通气装置、感应线圈和石墨坩埚，二次加料器和观察窗设于真空室上部，可升降的旋转通气装置设于真空室中部，旋转通气装置的中心为进气口，感应线圈设于石墨坩埚上，石墨坩埚设于真空室内；定向凝固系统设于真空室的下部，定向凝固系统设有电阻丝加热保温炉、石墨模具、保温炉支架、水冷铜盘、可控速的升降杆，石墨模具设于电阻丝加热保温炉中，保温炉支架设于电阻丝加热保温炉外部，水冷铜盘设于石墨模具底部，可控速的升降杆与水冷铜盘底部连接。