电热合金在六面顶高温高压合成腔体中的用途

摘要

本发明特指含有铁、铬、铝、铌、钽、钼的电热合金作为电加热元件，应用于六面顶压机中间接加热高压高温合成金刚石工艺的加热元件。该合金也可以应用于立方氮化硼、碳化硅单晶和氮化镓单晶生长。其将组分为含铁65－80％、铬13－27％、铝4－7％、铌、钽、钼三者的一种或多种的混合物0.5－1％的电热合金扎制成厚度为0.05－0.3mm的薄皮，剪切成一定宽度和长度，替代间接加热合成金刚石装配中的石墨加热管。本发明优点：(1)加工成型难度大大降低，提高了元件生产的成品率，(2)由于其很好的韧性使得间接加热装配的结构更加紧凑，接加热装配产品的运输性能提高，降低了破损率；(3)与石墨管相比电热合金管的体积进一步缩小，提高了合成腔体的有效利用率，单产可以进一步提高。

主权项

1.电热合金在六面顶高温高压合成腔体中的用途，其特征是将组分为含铁65-80％、铬13-27％、铝4-7％，以及铌、钽、钼三者的一种或多种的混合物0.5-1％的电热合金扎制成厚度为0.05-0.3mm的薄皮，替代间接加热合成金刚石装配中的石墨加热管。