发明名称 KONISCHE PRALLFLACHE ZUR REDUZIERUNG DES AUFLADUNGSDRIFTS IN EINEM TEILCHENSTRAHLGERAT
摘要
申请公布号 DE69733544(T2) 申请公布日期 2006.05.11
申请号 DE19976033544T 申请日期 1997.10.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 VENEKLASEN, H.;YOUNG, J.
分类号 H01J37/09;H01J37/147 主分类号 H01J37/09
代理机构 代理人
主权项
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