发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING TEMPERATURE IN A CHUCK SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1861759(B1) 申请公布日期 2008.12.03
申请号 EP20060736186 申请日期 2006.02.27
申请人 TEMPTRONIC CORPORATION 发明人 ELSDOERFER, NORBERT, W.;MIKULINA, OLGA, V.;MOURCHID, ABDELLAH
分类号 G05D23/00;G01R31/28;G05B11/00 主分类号 G05D23/00
代理机构 代理人
主权项
地址