| 发明名称 | 制造图像传感器的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种制造图像传感器的方法，其包含如下步骤：在包括光电二极管的衬底上形成层间介电层；在所述层间介电层上形成滤色器层；在所述滤色器层上形成氧化物膜；在所述氧化物膜上形成被分隔开的多个微透镜图案；通过使用所述微透镜图案作为掩模来蚀刻所述氧化物膜，形成具有预定曲率的基于氧化物的微透镜；以及使用过氧硫酸混合溶液来清洁所述微透镜图案。 | ||
| 申请公布号 | CN101308817A | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200810099291.9 | 申请日期 | 2008.05.16 |
| 申请人 | 东部高科股份有限公司 | 发明人 | 郑冲耕 |
| 分类号 | H01L21/82(2006.01);H01L27/146(2006.01) | 主分类号 | H01L21/82(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑小军 |
| 主权项 | 1.一种制造图像传感器的方法，其包含如下步骤：在包括光电二极管的衬底上形成层间介电层；然后在所述层间介电层上形成滤色器层；然后在所述滤色器层上形成氧化物膜；然后在所述氧化物膜上形成被分隔开的多个微透镜图案；然后通过使用所述微透镜图案作为掩模来蚀刻所述氧化物膜，形成多个氧化物微透镜；然后使用过氧硫酸混合溶液来清洁所述氧化物微透镜。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||