| 发明名称 |
METHOD FOR MACHINING A MATERIAL BY MEANS OF A LASER BEAM, AND CORRESPONDING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1989527(A1) |
申请公布日期 |
2008.11.12 |
| 申请号 |
EP20070722753 |
申请日期 |
2007.01.15 |
| 申请人 |
CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH |
发明人 |
SAEGMUELLER, BERND |
| 分类号 |
G01N1/04;G01N1/28;G02B21/32 |
主分类号 |
G01N1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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