| 发明名称 | 基板搬送装置、基板搬送方法和涂布、显影装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够抑制由于基板背面附着的液滴引起的液滴重新附着在基板上等污染的基板搬送装置。该基板搬送装置具有对液浸曝光后的基板进行搬送的臂主体，其特征在于，包括：设置在上述臂主体上，支撑基板背面的周边的内侧的支撑部；为了限制上述基板的周边的位置，设置在隔着上述基板的周边与上述支撑部相对的位置的限制部；和在上述支撑部和限制部之间的基板背面的下方位置设置的液体接收部。基板背面的周边部附着的液滴能够落到液体接收部上。因此，即使反复进行基板的搬送，液滴积蓄在液体接收部中，由于基板的周边不与液体接收部碰撞，所以也可抑制该液滴飞散并附着在基板的表面上。 | ||
| 申请公布号 | CN100426483C | 申请公布日期 | 2008.10.15 |
| 申请号 | CN200610128533.3 | 申请日期 | 2006.09.01 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 中原田雅弘;石田省贵;山本太郎;森川胜洋 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);H01L21/687(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种基板搬送装置，具有对液浸曝光后的基板进行搬送的臂主体，其特征在于，包括：设置在所述臂主体上，支撑基板背面的周边的内侧的支撑部；为了限制所述基板的周边的位置，设置在隔着所述基板的周边与所述支撑部相对的位置的限制部；和在所述支撑部和限制部之间的基板背面的下方位置设置的液体接收部，在所述液体接收部中设置有用于吸引液体的吸引口。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||