发明名称 POLISHING COMPOUND FOR POLISHING SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100863088(B1) 申请公布日期 2008.10.13
申请号 KR20077030868 申请日期 2007.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/3105 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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