发明名称 |
可回火玻璃涂层 |
摘要 |
本发明系有关于一应用于玻璃之低发射系数(low-E)银涂布层,其可回火且可利用溅镀制程涂布于玻璃上。此涂布层的各单层系为成本经济的标准材料。本发明一示范实施例系包含一玻璃基板、沈积于此玻璃上且厚度约为15奈米的四氮化三矽层、位于四氮化三矽层上且厚度约为15奈米的二氧化钛层、位于二氧化钛层上且厚度为12.5奈米的银层、位于此银层上且厚度约为5奈米之氧化镍铬层(NiCrO#sB!x#eB!)、以及厚度为45奈米之最终四氮化三矽层。 |
申请公布号 |
TW200836916 |
申请公布日期 |
2008.09.16 |
申请号 |
TW097100863 |
申请日期 |
2008.01.09 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
里斯特马提亚斯;克雷德特杰德;史区雷伯宇朵;史拉曼思凡 |
分类号 |
B32B17/06(2006.01);C03C17/36(2006.01) |
主分类号 |
B32B17/06(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
主权项 |
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地址 |
美国 |