Entwicklungsbearbeitungsvorrichtung

摘要

Eine Vorrichtung weist eine Drehbasis (2) auf, eine Annäherungsstufe (3), einen Substrathaltetisch (4) und einen Düsenkopf (5). Der Substrathaltetisch (4) haltert ein Werkstück durch Saugwirkung und gelangt in engen Kontakt mit der Annäherungsstufe und der Drehbasis durch ein erstes und zweites ringförmiges Dichtungsteil (25a und 25b) zur Ausbildung jeweils eines Flüssigkeitsaufnahmeraums (7). Wenn die Saughalterung und der enge Kontakt freigegeben werden, kann sich das Substrat (G) zusammen mit der Drehbasis (2) und der Annäherungsstufe (3) drehen.